2026-09-12招标｜招标公告浙江省|杭州市|西湖区项目编号QSZBA250246ZHGK招标状态招标｜招标公告发布时间2025-10-24 12:17:27标书获取截止时间投标截止时间开标时间招标单位浙江大学预算金额498万元中标单位中标金额代理单位浙江求是招标代理有限公司相关产品多功能AI+光电薄膜材料与器件研发系统联系方式金老师：0571-88982812刘工：0571-87666119正文内容 浙江大学多功能AI+光电薄膜材料与器件研发系统公开招标公告 项目概况 多功能AI+光电薄膜材料与器件研发系统 招标项目的潜在投标人应在求是招标汇采平台（https://www.aihuicai.com.cn）获取招标文件，并于2025年11月14日 09点00分（北京时间）前递交投标文件。 一、项目基本情况 项目编号：QSZBA250246ZHGK 项目名称：多功能AI+光电薄膜材料与器件研发系统 预算金额：498.000000 万元（人民币） 最高限价（如有）：498.000000 万元（人民币） 采购需求： 序号 名称 数量 单位 简要技术需求或服务要求 是否允许采购进口产品 预算金额 （万元） 最高限价 （万元） 一 多功能AI+光电薄膜材料与器件研发系统 1 台 详见采购需求 否 498 498 合同履行期限：合同签订后2个月内交付至用户指定地点。 本项目(不接受 )联合体投标。 二、申请人的资格要求： 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定； 2.落实政府采购政策需满足的资格要求： 本项目整体专门面向中小企业采购；在货物采购项目中，货物由中小企业制造，即货物由中小企业生产且使用该中小企业商号或者注册商标，监狱企业、残疾人福利性单位视同小型、微型企业； 本项目属性为：货物 采购标的对应的中小企业划分标准所属行业：工业 中小企业划型标准：从业人员1000人以下或营业收入40000万元以下的为中小微型企业。其中，从业人员300人及以上，且营业收入2000万元及以上的为中型企业；从业人员20人及以上，且营业收入300万元及以上的为小型企业；从业人员20人以下或营业收入300万元以下的为微型企业。 3.本项目的特定资格要求：未被“信用中国”（www.creditchina.gov.cn）、中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单。 三、获取招标文件 时间：2025年10月24日 至2025年11月14日，每天上午8:30至11:30，下午13:00至17:00。（北京时间，法定节假日除外） 地点：求是招标汇采平台（https://www.aihuicai.com.cn） 方式：供应商登录求是招标汇采平台，完成在线注册并获取相应项目的采购文件 获取文件联系人：於路莹；联系方式：0571-87666112；汇采平台业务咨询电话：李老师，0571-88886608 售价：￥500.0 元，本公告包含的招标文件售价总和 四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 提交投标文件截止时间：2025年11月14日 09点00分（北京时间） 开标时间：2025年11月14日 09点00分（北京时间） 地点：杭州市西湖区玉古路173号中田大厦16楼求是招标6号会议室 五、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。 六、其他补充事宜 1.供应商认为采购文件使自己的权益受到损害的，可以自获取采购文件之日或者采购公告期限届满之日（公告期限届满后获取采购文件的，以公告期限届满之日为准）起7个工作日内，对采购文件需求的以书面形式向采购人提出质疑，对其他内容的以书面形式向采购人和采购代理机构提出质疑。质疑供应商对采购人、采购代理机构的答复不满意或者采购人、采购代理机构未在规定的时间内作出答复的，可以在答复期满后十五个工作日内向同级政府采购监督管理部门投诉。质疑函范本、投诉书范本请到中国政府采购网下载专区下载。 2.需要落实的政府采购政策：包括节约资源、保护环境、支持科技创新、促进中小企业发展等。详见招标文件的第三章-采购项目需要落实的政府采购政策。 ▲3.单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动；为采购项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务后不得再参加该采购项目的其他采购活动。 4.投标人代表非必须到开标现场提交投标文件，投标文件可通过邮寄的方式递交。投标人须考虑物流等相关因素，合理计划邮寄时间，尽量在开标截止时间前一个工作日内送到指定地点。在投标截止时间后送达的，将被视为“逾期送达”。投标人未参加开标的，视同认可开标结果。具体要求如下： （1）邮寄地址：杭州市西湖区玉古路173号中田大厦21楼H室，浙江求是招标代理有限公司（刘工）收，电话：0571-87666119，寄出后将（快递单号、项目名称、公司名称、联系方式等相关信息）发至：zb01@qszb.net，以便查收）。 特别说明：双休日和法定节假日不收件，投标人自行承担邮寄风险。 （2）请投标人确保投标文件在邮寄过程密封包装完好，因邮寄过程的密封破损造成不符合开标要求的，本招标代理及采购人概不负责。建议投标文件密封包装后邮寄时再进行外包装。投标人应对邮寄快递响应文件的完整性、密封性负责。 （3）投标人代表不在开标现场的，取消投标人在开标现场的书面签名确认等有关操作要求；评审现场如需要投标人澄清、说明等，均通过指定的电子邮箱（zb01@qszb.net）向投标人发送澄清、说明等通知，并要求在收到通知后半小时内以邮件形式作出澄清、说明等。 收款单位（户名）：浙江求是招标代理有限公司 开户银行：工行浙大支行 银行账号：1202024609900033043 财务联系方式：0571-87666113 开票信息请发送邮件至：caiwu@qszb.net，提供：项目名称或编号、开票资料、收件信息并注明专普票。 七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称：浙江大学 地址：杭州市西湖区余杭塘路866号 联系方式：金老师，0571-88982812，采购部门邮箱：cgzx1@zju.edu.cn 2.采购代理机构信息 名 称：浙江求是招标代理有限公司 地 址：杭州市西湖区玉古路173号中田大厦21楼 联系方式：陈宵、刘工、姜海军，0571-87666119 3.项目联系方式 项目联系人：陈宵、刘工、姜海军 电 话： 0571-87666119 公告概要： 公告信息： 采购项目名称 多功能AI+光电薄膜材料与器件研发系统 品目 货物/无形资产/信息数据类无形资产/计算机软件/其他计算机软件 采购单位 浙江大学 行政区域 浙江省 公告时间 2025年10月24日 10:41 获取招标文件时间 2025年10月24日至2025年11月14日每日上午:8:30 至 11:30下午:13:00 至 17:00（北京时间，法定节假日除外） 招标文件售价 ￥500 获取招标文件的地点 求是招标汇采平台（https://www.aihuicai.com.cn） 开标时间 2025年11月14日 09:00 开标地点 杭州市西湖区玉古路173号中田大厦16楼求是招标6号会议室 预算金额 ￥498.000000万元（人民币） 联系人及联系方式： 项目联系人 陈宵、刘工、姜海军 项目联系电话 0571-87666119 采购单位 浙江大学 采购单位地址 杭州市西湖区余杭塘路866号 采购单位联系方式 金老师，0571-88982812，采购部门邮箱：cgzx1@zju.edu.cn 代理机构名称 浙江求是招标代理有限公司 代理机构地址 杭州市西湖区玉古路173号中田大厦21楼 代理机构联系方式 陈宵、刘工、姜海军，0571-87666119 附件： 附件1 QSZBA250246ZHGK采购需求.docx 附件2 QSZBA250246ZHGK投标邀请.docx 一、为落实政府采购政策需满足的要求：序号政策名称内容1政府采购进口产品不允许采购进口产品2政府强制采购节能产品不适用3政府优先采购节能、环保产品不适用4政府采购支持科技创新提供材料详见招标文件第六章“商务和技术文件”5政府采购促进中小企业发展提供材料详见招标文件第六章“资格文件”本项目属性为：货物采购标的对应的中小企业划分标准所属行业：中小企业划型标准：从业人员1000人以下或营业收入40000万元以下的为中小微型企业。其中，从业人员300人及以上，且营业收入2000万元及以上的为中型企业；从业人员20人及以上，且营业收入300万元及以上的为小型企业；从业人员20人以下或营业收入300万元以下的为微型企业。6政府采购支持监狱企业发展提供材料详见招标文件第六章“资格文件”7政府采购促进残疾人就业提供材料详见招标文件第六章“资格文件”二、采购资金的支付方式、时间、条件：▲付款方式1、货款支付方式：货到指定地点后，经安装调试，凭用户出具的安装调试报告支付80%货款；验收合格后凭用户出具的验收报告支付20%货款。2、货款的结算：开票信息：开具增值税专用发票；抬头：浙江大学纳税人识别号：12100000470095016Q地址：杭州市余杭塘路866号，电话88981919开户行：农行杭州市浙大支行紫金港支行账号：19042201040000014行号：103331004223三、服务要求（技术要求里另有注明的以技术要求为准）：交付时间合同签订后2个月内交付至用户指定地点。交付地点用户指定地点▲质保期1年，项目验收合格后开始计算。服务标准、期限、效率1.在质保期内，供应商应对货物出现的质量及安全问题负责处理解决并承担一切费用。2.质保期内出现无法排除的故障，供应商需无条件更换同型号产品。3.质保期满后，供应商继续为采购人服务，仅收取零配件成本费。4.因人为因素出现的故障不在免费保修范围内。5.如在使用过程中发生质量问题，供应商维修响应时间：24小时；若需上门维修，则在：72小时内（工作日）到达现场并进行维修；6.供应商应提供详细的售后服务方案、售后服务承诺、售后服务保障措施。其他技术、服务要求▲1.供应商应按招标文件规定向采购人提供全新的原装合格产品，产品应符合国家法律法规规定。供应商应保证所提供的货物或其中任何一部分均不会侵犯第三方的知识产权。2.供应商应提供有关的全套技术文件。3.安装调试：3.1安装地点：采购人指定地点；3.2安装完成时间：接到采购人通知后在规定时间内完成安装和调试，如在规定的时间内由于供应商的原因不能完成安装和调试，供应商应承担由此给采购人造成的损失；3.3如供应商委托国内代理（或其他机构）负责安装或配合安装应在签约时指明，但供应商仍要对合同货物及其安装质量负全部责任；3.4安装标准：符合我国国家有关技术规范要求和技术标准，所有的软件和硬件必须保证同时安装到位；3.5供应商免费提供合同货物的安装服务；3.6供应商在投标文件中应提供安装调试计划和安装调试方案。4.技术支持：供应商应及时免费提供合同货物软件的升级，免费提供合同货物新功能和应用的资料。5.供应商应提供质保期满后主要零部件报价单、质保期满后维护费、软件升级及其相关服务内容；提供产品相关配件、附件、备品备件及耗材的准备和保障措施、消耗水平和成本方案。培训1.供应商应对采购人的操作人员、维修人员免费进行培训；2.培训实现方式、时间、地点、人数应在投标文件中详细说明；3.供应商应提供相应的培训计划、培训范围，实施方案。验收标准1.验收由采购人负责实施；2.验收依据：2.1合同、招标文件、投标文件；2.2供应商提供的技术规格、经采购人认可的合同货物的有效检验文件；2.3供应商投标文件中提供的经采购人认可的合同货物的验收标准（符合中国有关的国家、地方、行业标准）和检测办法及相应检测手段。3.供应商应派员在所供货物到采购人处时进行到货验收，有需要时能联系产品制造商到场共同验收，若发现任何损坏及质量问题，供应商负责妥善处理直至采购人满意，由此产生的费用由供应商承担。4.验收合格的条件：4.1所供货物符合产品标准和合同的要求；4.2在进行测试和验收过程中发现的问题已被解决并得到采购人的认可；4.3合同中规定的所有货物和材料均已交付；4.4所供货物已通过使用单位组织的验收；4.5所有相关的技术文件及资料均已提交并得到接受。四、技术要求1.需执行的国家相关标准、行业标准、地方标准或者其他标准、规范：如技术要求中未注明需执行的国家相关标准、行业标准、地方标准或者其他标准、规范的，执行最新标准、规范。2.需实现的功能或者目标：多功能AI+光电薄膜材料与器件研发系统是一套集成了团簇式镀膜系统、原子层薄膜沉积（ALD）系统以及UV激光直写系统的设备。团簇式镀膜系统可在真空环境下将基板或掩膜板传递至不同工艺腔内，完成多种金属材料（金、银、铜、铝等），多种有机材料（NPB、ALq3、BCP、TPBi、C60等）,以及多种无机材料（LiF、SnO2、MoO3等），以及ZnO、SiO2等材料进行溅射镀膜的功能。3.需满足的质量、安全、技术规格、物理特性等要求：“▲”要求为实质性要求。投标人应当按照招标文件中的符合性审查规定，在投标文件中进行实质性响应，否则投标无效。序号名称数量单位质量、安全、技术规格、物理特性等要求1多功能AI+光电薄膜材料与器件研发系统1台1.团簇式镀膜系统配置要求1.1.整体要求：团簇式蒸镀系统由金属蒸镀腔、有机蒸镀腔、传输腔、磁控溅射腔、载入腔、点胶系统与UV固化系统、真空热台等组成。其中传输腔配有真空机械手，用于在真空环境下将基板或掩膜板传递至不同工艺腔内。支持≥150 mm×150mm的方形基片，并兼容16片19 mm×19mm小尺寸基片。金属蒸镀腔采用高温蒸发源结构及电子束蒸发结构，有机蒸镀腔采用低温蒸发源结构，磁控溅射腔采用圆形阴极结构。镀膜过程可实现抽真空、镀膜工艺的全自动化操作，且支持各独立腔室的手动操作。1.2.金属蒸镀腔1.2.1.真空室由不锈钢制成，内部尺寸≥600 mm×600 mm×800 mm，腔室漏率＜7.0E-6Pa.m3/s @10min，腔体保压：12小时小于5Pa；真空室配全量程真空计，测量范围为大气至1.0E-5Pa；1.2.2.▲腔室配备一个可以完全打开的门，门上支持挂载独立手套箱，并安装气动门，在解锁后可自动开关，实现氮气环境下加材料及更换晶振片等操作；1.2.3.▲配备≥6组蒸发源，可通过切换与可编程直流电源连接，可编程直流电源单台功率≤1.5 kW，精度≤0.1A，每组蒸发源均配备冷却系统，蒸发源到基片距离≥350mm，配合膜厚仪使用，能够实现自动蒸镀；1.2.4.▲配备1套电子束蒸发源，坩埚数目≥6个，坩埚容量≥7 cc，电子枪电源功率≥10 kW，配合膜厚仪使用，能够实现自动蒸镀；1.2.5.每组蒸发源的上方同时配有防护板来防止蒸发源交叉污染，防护板通过气缸及磁流体驱动，打开方式左右旋转，源与源之间装有隔板，并避免源与源之间材料相互干扰；1.2.6.蒸镀速率稳定性: 以Ag为标准，≤±10%(0.1-0.5 Å/s)，≤±5%(0.5-10 Å/s)，≤±4%(>10 Å/s)；片内膜厚不均匀性：≤±5%；片间膜厚重复性误差：≤±5%；1.2.7.配备≥3套卡扣式水冷晶振探头,速率显示精度0.01 Å/sec，配备≥4通道的膜厚仪，晶振探头、膜厚仪、蒸发电源之间可实现闭环控制；1.2.8.▲主泵采用抽速≥1500 L/s的低温泵,洁净环境下极限真空≤3.0E-5Pa；1.2.9.▲基片架通过电机及磁流体驱动实现连续旋转，转速可调范围1~30转/分钟；基片架具有加热功能，加热温度≥150℃，控温精度±1℃；支持掩膜板在线切换；1.3.有机蒸镀腔1.3.1.真空室由不锈钢制成，内部尺寸≥600 mm×600 mm×800 mm，腔室漏率＜7.0E-6Pa.m3/s @10min，腔体保压：12小时小于5Pa；真空室配全量程真空计，测量范围为大气至1.0E-5Pa；1.3.2.▲腔室配备一个可以完全打开的门，门上支持挂载独立手套箱，并安装气动门，在解锁后可自动开关，实现氮气环境下加材料及更换晶振片等操作；1.3.3.▲配备≥8组蒸发源，可通过切换与≥3台可编程直流电源连接，单台可编程直流电源功率≤1.5 kW，精度≤0.1A，每组蒸发源均配备冷却系统，蒸发源到基片距离≥350mm，配合膜厚仪使用，能够实现自动蒸镀，可实现≥3源共蒸发；1.3.4.每组蒸发源的上方同时配有防护板来防止蒸发源交叉污染，防护板通过气缸及磁流体驱动，打开方式左右旋转，源与源之间装有隔板，并避免源与源之间材料相互干扰；1.3.5.▲蒸镀速率: 以C60为标准，速度稳定性:≤±10%(0.1-0.5 Å/s)，≤±4%(0.5-10 Å/s)，≤±3%(>10 Å/s)；片内膜厚不均匀性：≤±3%；片间膜厚重复性误差：≤±3%；1.3.6.配备≥4套卡扣式水冷晶振探头,速率显示精度0.01 Å/sec，配备≥4通道的膜厚仪，晶振探头，膜厚仪与蒸发电源之间可实现闭环控制，用于控制电源功率及速率；1.3.7.▲主泵采用抽速≥1500 L/s的低温泵,洁净环境下极限真空≤3.0E-5Pa；1.3.8.▲基片架通过电机及磁流体驱动实现连续旋转，转速可调范围1~30转/分钟，基片架具有加热功能，加热温度≥150℃，控温精度±1℃，支持掩膜板在线切换；1.4.传输腔1.4.1.真空室由不锈钢制成，内部尺寸≥800 mm×800 mm×200mm，腔室漏率＜7.0E-6Pa.m3/s @10min，腔体保压：12小时小于5Pa；真空室配全量程真空计，测量范围为大气至1.0E-5Pa；1.4.2.配有真空系统和真空传输机械手，每个工位传输路径上有检测装置，用于检测机械手上托盘有无状况；1.4.3.▲主泵采用抽速≥1500 L/s的低温泵,洁净环境下极限真空≤3.0E-5Pa；前级泵配干泵1台，抽速≥500立方米/小时，极限压力≤0.1Pa；1.4.4.▲传输腔与其他腔体之间配备一体式矩形传输阀，传输口开口尺寸≥46×236mm；1.5.磁控溅射腔1.5.1.真空室由不锈钢制成，内部尺寸≥500 mm×500 mm×600mm，腔室漏率＜7.0E-6Pa.m3/s @10min，腔体保压：12小时小于5Pa；1.5.2.配全量程真空计，测量范围为大气至1.0E-5Pa；配备薄膜真空计，量程0.1torr；1.5.3.▲主泵采用抽速≥1300 L/s的分子泵,洁净环境下极限真空≤8.0E-5Pa；前级泵配机械泵1台，抽速≥30立方米/小时，极限压力≤0.1Pa；1.5.4.▲配备3套磁控溅射靶，支持TiO2、NiO2、ITO、ZnO2等材料溅射沉积；配直流电源1台，功率≥500W，配射频电源2台，功率≥300W；1.5.5.配备插板阀控压系统，接口口径≥DN200；1.5.6.配备≥3路质量流量控制器，并支持扩展≥1路；1.5.7.基片架通过电机及磁流体驱动实现连续旋转，转速可调范围1~30转/分钟；基片架具有加热功能，加热温度≥150℃，控温精度±1℃；1.6.载入腔1.6.1.真空室由不锈钢制成，内部尺寸≥400 mm×400 mm×700mm，腔室漏率＜7.0E-6Pa.m3/s @10min，腔体保压：12小时小于5Pa；真空室配全量程真空计，测量范围为大气至1.0E-5Pa；1.6.2.▲载入腔主泵采用抽速≥1300 L/s的分子泵,极限真空≤5.0E-5Pa，抽真空速度，40分钟达到5.0E-4Pa，氮气环境时间缩短一半；前级配机械泵1台，抽速≥30立方米/小时，极限压力≤0.1Pa；1.6.3.系统支持慢充及快充模式，腔门配矩形视窗，可观察卡夹运动情况；1.6.4.▲配备≥15层工位储存卡夹，可放置≥6层掩膜板托盘以及≥9层基片托盘，腔门矩形视窗上安装有传感器，具备槽位托盘有无自动检测功能；1.6.5.▲配备周转机械手，安装于手套箱内，用于从载入腔取放基片托盘到手套箱内；1.7.系统控制1.7.1.▲采用工控机控制模式，相关的操作均在工控机界面完成，工控机采用性能≥I9-9900处理器，运行内存≥32G，固态硬盘≥1T；1.7.2.▲系统控制可切换手动模式或自动模式，自动模式下支持完整镀膜工艺的自动运行；1.7.3.镀膜过程工艺参数实时记录，用于追溯操作流程，系统联网后支持远程控制；1.7.4.控制系统稳定可靠，配置UPS电源，实现断电下保持监控系统运行不低于5分钟；1.8.点胶系统与UV固化系统1.8.1.点胶系统与UV固化系统为一体化系统，放置于手套箱内进行点胶固化操作，主机尺寸≤550 mm×430 mm×540mm，操作台高度≤190mm；采用UVLED光源，365nm，寿命≥2万小时；1.8.2.点胶控制系统使用高精密供胶系统，胶量控制连续无断点，稳定可靠；1.8.3.▲XY轴采用龙门式框架，位移精度：±0.02mm；配备手持式操作手柄，可自动化点胶运行轨迹及图案、点胶运行速度等参数，同时可保存摸索好的工艺参数，方便下次直接调用；1.8.4.封装基片尺寸≥150 mm×150mm，同时可以配备专用卡具，满足小于150 mm×150mm基片的封装需求；1.9.真空热台1.9.1.真空热台置于手套箱内使用，加热台区域≥150 mm×150mm，真空下温度25-300℃，大气压下温度25-200℃；1.9.2.配备机械泵1台，抽速≥30立方米/小时，腔室极限真空度≤5×10-2mbar；1.9.3.配备升降支撑系统，用于基片载入载出；2.原子层薄膜沉积（ALD）系统配置要求2.1.整体要求：原子层薄膜沉积（ALD）系统采用模块化设计，具有功能可扩展性，可用于在水氧敏感材料表面沉积金属氧化物、氮化物及单质等材料的原子层薄膜沉积（ALD）及分子层沉积（MLD），其中氧化物包括有Al2O3、MgO、ZnO、SnO2、 Ga2O3、In2O3等功能薄膜材料；2.2.反应器2.2.1.▲反应器均可实现ALD/MLD薄膜生长模式，并可兼容部分材料CVD功能；2.2.2.最高可加热温度400℃，温度控制精度为±1℃，含手套箱对接口；2.2.3.反应器可容纳平面尺寸为100mm ×100mm的三维样件，并往下兼容；2.2.4.反应腔压力监控的高精度真空压力表，精度不低于0.5级；2.3.气体管路2.3.1.▲配置有7个常温液态源管路、2个加热源管路、1个常规气态源及2路载气专用管路；2.3.2.载气管路均采用不锈钢材料，常拆卸接头采用金属垫片密封；2.3.3.包含臭氧发生装置及专用通道1路，可精确控制臭氧浓度及流量；2.3.4.载气管路系统采用 N2或 Ar 并采用单独的质量流量计进行控制；2.4.前驱体源装置2.4.1.源瓶采用不锈钢材质，加热源装置及其与之相联接的管路的最高加热温度为300℃，源瓶及其管路具有保温装置；2.4.2.固体前驱体通道能够连续通入惰性载气，确保前驱体的长时间（不小于1hr）连续供应；2.5.真空系统2.5.1.机械真空泵1台，抽速≥6L/s，极限真空度≤1Pa；2.6.控制系统2.6.1.采用单独的电气控制柜或与设备主体集成一体，配置可编程逻辑控制器控制系统；2.6.2.软件界面友好，具备多种薄膜沉积模式（标准模式、准静止模式、掺杂模式等），用户可在操作界面下便捷地自行开发和使用新的薄膜沉积模式；3.UV激光直写系统3.1.整体要求：UV激光直写系统，用于微纳结构的高精度图形加工，系统具备大面积图形加工能力，同时保证亚微米级精度。软件应支持版图导入、拼接写入、误差补偿及加工过程监控；3.2.▲最小特征尺寸直写后实际线宽或最小可分辨特征≤ 500 nm；曝光面积≥ 3 mm × 3 mm 单次加工范围，支持拼接实现更大图形；相邻曝光区域拼接误差≤ 150 nm；3.3.加工行程范围：可覆盖大尺寸样品≥ 20 mm (XY)；3.4.▲加工效率在保证精度的条件下≤ 30 分钟 / 件（3 mm × 3 mm 区域）；3.5.▲样品台运动精度≤ 150 nm，样品台重复定位能力≤ 150 nm；3.6.光源为UV 激光器，稳定输出，波长405 nm 或等效；3.7.软件支持CAD/GDS 版图导入、路径优化、误差补偿，支持用户自定义脚本；3.8.设备需具备在线监控或对准系统，可通过显微成像；3.9.隔振平台尺寸≥900 x 600 mm，隔振带宽1~1000Hz，隔振效率 60%@2Hz，90%@5Hz，90%~99%@10Hz；投标邀请项目概况多功能AI+光电薄膜材料与器件研发系统招标项目的潜在投标人应在求是招标汇采平台（https://www.aihuicai.com.cn）获取招标文件，并于2025年11月14日9:00:00（北京时间）前递交投标文件。一、项目基本情况1.项目编号：QSZBA250246ZHGK2.项目名称：多功能AI+光电薄膜材料与器件研发系统3.合同履约期限：合同签订后2个月内交付至用户指定地点。4.本项目不接受联合体投标。5.采购需求：序号名称数量单位简要技术需求或服务要求是否允许采购进口产品预算金额（万元）最高限价（万元）一多功能AI+光电薄膜材料与器件研发系统1台详见采购需求否498498二、申请人的资格要求：1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；2.落实政府采购政策需满足的资格要求：本项目整体专门面向中小企业采购；在货物采购项目中，货物由中小企业制造，即货物由中小企业生产且使用该中小企业商号或者注册商标，监狱企业、残疾人福利性单位视同小型、微型企业；本项目属性为：货物采购标的对应的中小企业划分标准所属行业：工业中小企业划型标准：从业人员1000人以下或营业收入40000万元以下的为中小微型企业。其中，从业人员300人及以上，且营业收入2000万元及以上的为中型企业；从业人员20人及以上，且营业收入300万元及以上的为小型企业；从业人员20人以下或营业收入300万元以下的为微型企业。3.本项目的特定资格要求：未被“信用中国”（www.creditchina.gov.cn）、中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单。三、获取招标文件1.时间：2025年10月24日至2025年11月14日（北京时间，双休日及法定节假日除外）上午：8:30-11:30、下午：13:00-17:00。2.地点（网址）：求是招标汇采平台（https://www.aihuicai.com.cn）3.方式：供应商登录求是招标汇采平台，完成在线注册并获取相应项目的采购文件获取文件联系人：於路莹；联系方式：0571-87666112；汇采平台业务咨询电话：李老师，0571-888866084.售价：500元整，售后不退。收款单位（户名）：浙江求是招标代理有限公司开户银行：工行浙大支行银行账号：1202024609900033043财务联系方式：0571-87666113开票信息请发送邮件至：caiwu@qszb.net，提供：项目名称或编号、开票资料、收件信息并注明专普票。5.投标人未按照本公告规定的方式获取招标文件的，投标文件将被拒绝。四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点1.时间：2025年11月14日9:00:00（北京时间）2.地点：杭州市西湖区玉古路173号中田大厦16楼求是招标6号会议室备注：投标人逾期送达或者未按照招标文件要求密封的投标文件，采购代理机构将予以拒收；五、公告期限自本公告发布之日起5个工作日。六、其他补充事宜1.供应商认为采购文件使自己的权益受到损害的，可以自获取采购文件之日或者采购公告期限届满之日（公告期限届满后获取采购文件的，以公告期限届满之日为准）起7个工作日内，对采购文件需求的以书面形式向采购人提出质疑，对其他内容的以书面形式向采购人和采购代理机构提出质疑。质疑供应商对采购人、采购代理机构的答复不满意或者采购人、采购代理机构未在规定的时间内作出答复的，可以在答复期满后十五个工作日内向同级政府采购监督管理部门投诉。质疑函范本、投诉书范本请到中国政府采购网下载专区下载。2.需要落实的政府采购政策：包括节约资源、保护环境、支持科技创新、促进中小企业发展等。详见招标文件的第三章-采购项目需要落实的政府采购政策。▲3.单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动；为采购项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务后不得再参加该采购项目的其他采购活动。4.投标人代表非必须到开标现场提交投标文件，投标文件可通过邮寄的方式递交。投标人须考虑物流等相关因素，合理计划邮寄时间，尽量在开标截止时间前一个工作日内送到指定地点。在投标截止时间后送达的，将被视为“逾期送达”。投标人未参加开标的，视同认可开标结果。具体要求如下：（1）邮寄地址：杭州市西湖区玉古路173号中田大厦21楼H室，浙江求是招标代理有限公司（刘工）收，电话：0571-87666119，寄出后将（快递单号、项目名称、公司名称、联系方式等相关信息）发至：zb01@qszb.net，以便查收）。特别说明：双休日和法定节假日不收件，投标人自行承担邮寄风险。（2）请投标人确保投标文件在邮寄过程密封包装完好，因邮寄过程的密封破损造成不符合开标要求的，本招标代理及采购人概不负责。建议投标文件密封包装后邮寄时再进行外包装。投标人应对邮寄快递响应文件的完整性、密封性负责。（3）投标人代表不在开标现场的，取消投标人在开标现场的书面签名确认等有关操作要求；评审现场如需要投标人澄清、说明等，均通过指定的电子邮箱（zb01@qszb.net）向投标人发送澄清、说明等通知，并要求在收到通知后半小时内以邮件形式作出澄清、说明等。七、对本次招标提出询问、质疑请按以下方式联系1.采购人信息名称：浙江大学地址：杭州市西湖区余杭塘路866号采购项目联系人：金老师采购项目联系方式：0571-88982812采购部门邮箱：cgzx1@zju.edu.cn2.采购代理机构信息名称：浙江求是招标代理有限公司地址：杭州市西湖区玉古路173号中田大厦21楼项目联系人：陈宵、刘工、姜海军项目联系方式：0571-87666119质疑联系人：周安琪质疑联系方式：0571-81110356质疑邮箱：jdkh@qszb.net 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